

宣布时间:2015-04-01 | 游览:3297
内容摘要:四氟化碳是现在微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体,,,,,,,,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混淆体。。。。。。
四氟化碳是现在微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体,,,,,,,,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混淆体。。。。。。
1. 可普遍应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜质料的烛刻。。。。。。关于硅和二氧化硅系统,,,,,,,,接纳CF4-H2反应离子刻蚀时,,,,,,,,通过调理两种气体的比例,,,,,,,,可以获得45:1的选择性,,,,,,,,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。。。。。。
2. 在电子器件外貌洗濯、太阳能电池的生产、激光手艺、气相绝缘、低温制冷、
走漏磨练剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大宗使用。。。。。。
3. 由于化学稳固性极强,,,,,,,,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。。。。。。
4. 四氟化碳的溶氧性很好,,,,,,,,因此被科学家用于超深度潜水实验取代通俗压缩空气。。。。。。现在已在老鼠身上获得乐成,,,,,,,,在275米到366米的深度内,,,,,,,,小白鼠仍可清静脱险。。。。。。
服务热线:
版权所有
www.非凡国际·com联系地址:
福建省龙岩市上杭县蛟洋镇蛟洋工业集中区工业路6号
闽公网安备 35082302000172号
闽ICP备2021002793号-1